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PMS 橢偏在線監(jiān)測(cè)裝備

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:橢偏在線監(jiān)測(cè)裝備針對(duì)LCD、OLED等新型平板顯示量光學(xué)薄膜質(zhì)量控制需要,專門設(shè)計(jì)的在線薄膜測(cè)量系統(tǒng)??蛇m用于空氣、N2、真空等環(huán)境條件,自動(dòng)實(shí)現(xiàn)玻璃基板上各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布、光學(xué)常數(shù)分布的全片快速掃描測(cè)量。橢偏在線監(jiān)測(cè)裝備廣泛應(yīng)用于工業(yè)中新型光電器件行業(yè)所涉及的PI配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機(jī)發(fā)光薄膜、有機(jī)/無(wú)機(jī)封裝薄膜大基片各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布、光學(xué)常數(shù)分布的在線式全片快速掃描測(cè)量。

 

產(chǎn)品型號(hào)

PMS 橢偏在線監(jiān)測(cè)裝備

主要特點(diǎn)

1、支持產(chǎn)線大基片自定義多點(diǎn)掃描測(cè)量并輸出報(bào)告

2、支持大193-2500nm全波段分析測(cè)量

3、支持多橢偏方案,多組合集成

4、支持測(cè)頭模塊以及樣件機(jī)臺(tái)定制化

技術(shù)參數(shù)

測(cè)頭規(guī)格

穆勒矩陣橢偏測(cè)頭

光譜橢偏測(cè)頭

反射膜厚測(cè)頭

自動(dòng)化程度

可變/固定角+ mapping

可變/固定角+ mapping

垂直角+ mapping

應(yīng)用定位

高階高精度型

高精度型

通用型

單次測(cè)量時(shí)間

0.5-5s

小于1s

分析光譜

380-1000m(支持?jǐn)U展至193-2500nm)

380-1100nm

Mapping行程

支持行程定制化

支持樣件尺寸

安需定制化


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