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全自動(dòng)橢偏檢測(cè)機(jī)臺(tái)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:全自動(dòng)橢偏檢測(cè)機(jī)臺(tái)作為一種小型橢偏集成機(jī)臺(tái),通過(guò)整體高度模塊化,電、氣路集成技術(shù),實(shí)現(xiàn)不同橢偏測(cè)量模塊在線/離線式整體橢偏測(cè)量解決方案。全自動(dòng)橢偏檢測(cè)機(jī)臺(tái)廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究中各種各向同性,異性薄膜材料的膜厚、光學(xué)常數(shù)以及一維、二維納米光柵的結(jié)構(gòu)表征;工業(yè)領(lǐng)域新型光電器件行業(yè)所涉及的薄膜(配向膜、光刻膠、ITO、發(fā)光薄膜、封裝薄膜)全片離線化快速掃描測(cè)量。

 

產(chǎn)品型號(hào)

全自動(dòng)橢偏檢測(cè)機(jī)臺(tái)

主要特點(diǎn)

1、支持實(shí)驗(yàn)室研究整體橢偏集成控制測(cè)量技術(shù)

2、支持產(chǎn)線大基片離線自定義多點(diǎn)掃描測(cè)量并輸出報(bào)告

3、支持多橢偏方案,多組合集成

4、支持測(cè)頭模塊以及樣件機(jī)臺(tái)定制化

技術(shù)參數(shù)

自動(dòng)化程度

可變/固定角

應(yīng)用定位

高階高精度型

高精度型

單次測(cè)量時(shí)間

0.5-5s

分析光譜

380-1000nm(支持?jǐn)U展至193-2500nm)

Mapping行程

支持100x100mm行程擴(kuò)展

支持樣件尺寸

支持200mm樣件


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