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GC-9560-PDD 含氟電子氣分析用氦離子色譜儀

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GC-9560-PDD含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，保證不同底氣的樣品的進樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化*項目、上海市重點新產(chǎn)品、上海市火炬計劃和2009科學(xué)儀器產(chǎn)品等稱號。

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GC-9560-PDD含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達5ppb。含氟電子氣分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，保證不同底氣的樣品的進樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化*項目。

     

氟的技術(shù)指標(biāo)：                                                

項目指標(biāo)
氟（F2）（體積分數(shù)）/10-2                   ≥99
氧（O2）+氮（N2）（體積分數(shù)）（N2）/10-2≤0.45
四氟化碳（CF4）（體積分數(shù)）/10-2≤0.05
氟化氫（HF）（體積分數(shù)）/10-2≤0.5

 

氟氮混合氣的技術(shù)指標(biāo)：                                           

項目指標(biāo)
氟（F2）（體積分數(shù)）/10-2  　20
氮（N2）（體積分數(shù)）（N2）/10-2　80
氧（O2）（體積分數(shù)）（N2）/10-2≤0.08
四氟化碳（CF4）（體積分數(shù)）/10-2≤0.03

 

 

上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司

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