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GC-9560-PDD 含氟電子氣分析用氦離子色譜儀

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GC-9560-PDD含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設(shè)計,并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng),保證不同底氣的樣品的進樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化*項目、上海市重點新產(chǎn)品、上海市火炬計劃和2009科學(xué)儀器產(chǎn)品等稱號。

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GC-9560-PDD含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,小檢測濃度可達5ppb。含氟電子氣分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設(shè)計,并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng),保證不同底氣的樣品的進樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化*項目。

     

氟的技術(shù)指標(biāo):                                                

項目指標(biāo)
氟(F2)(體積分數(shù))/10-2                   99
氧(O2)+氮(N2)(體積分數(shù))(N2)/10-20.45
四氟化碳(CF4)(體積分數(shù))/10-20.05
氟化氫(HF)(體積分數(shù))/10-20.5

 

氟氮混合氣的技術(shù)指標(biāo):                                           

項目指標(biāo)
氟(F2)(體積分數(shù))/10-2   20
氮(N2)(體積分數(shù))(N2)/10-2 80
氧(O2)(體積分數(shù))(N2)/10-20.08
四氟化碳(CF4)(體積分數(shù))/10-20.03

 

 

上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司

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