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二氯硅烷分析用氦離子色譜儀

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二氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計,并配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng)。

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二氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計,并配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng),保證不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。二氯硅烷分析用氦離子色譜儀產(chǎn)品先后榮獲上海市高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化*項目、上海市重點新產(chǎn)品、上海市火炬計劃和2009科學(xué)儀器產(chǎn)品等稱號。

                                              項目名稱指標(biāo)
三氯氫硅(SiHCl3 )含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6                                                                                                  ≤        10
(一氯硅烷+氯化氫)含量(SiH3Cl+HCl)含量”,以氯化氫計(體積分?jǐn)?shù))/l0-6                                            50
氮(N2)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6                                                                                                        1
(氧+氬)(O2+Ar)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6                                                                                          1
一氧化碳(CO)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6                                                                                             1
氫(H2)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6                                                                                                      10
二氧化碳(CO2)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6                                                                                           1
總烴(THC)含量,以甲烷(CH4)計(體積分?jǐn)?shù))/l0-6                                                                      1
金屬元素及其他元素含量(硼+鋁)(B+Al)含量/(µg/kg)                    ≤0.1
(磷+砷)(P+As)含量/(µg/kg)                   ≤0.3
鎵(Ga)含量/(µg/kg)                                   ≤0.1
銻(Sb)含量/(µg/kg)                                   ≤0.1
銦(In)含量/(µg/kg)                                    ≤0.1
鈣(Ca)含量/(µg/kg)                                   ≤1
鉻(Cr)含量/(µg/kg)                                   ≤1
鐵(Fe)含量/(µg/kg)                                    ≤5
鉀(K)含量/(µg/kg)                                     ≤1
鈉(Na)含量/(µg/kg)                                    ≤0.2
鎳(Ni)含量/(µg/kg)                                    ≤1
鉬(Mo)含量/(µg/kg)                                   ≤0.1
錳(Mn) 含量/(µg/kg)                                  ≤0.2
銅(Cu)含量/(µg/kg)                                   ≤0.2
鎘(Cd) 含量/(µg/kg)                                  ≤0.5
鈷(Co)含量/(µg/kg)                                   ≤0.5
鋅(Zn)含量/(µg/kg)                                   ≤0.1

 

 

上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司

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