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二氯硅烷分析用氦離子色譜儀

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二氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計，并配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng)。

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二氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計，并配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng)，保證不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。二氯硅烷分析用氦離子色譜儀產(chǎn)品先后榮獲上海市高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化*項目、上海市重點新產(chǎn)品、上海市火炬計劃和2009科學(xué)儀器產(chǎn)品等稱號。

                                              項目名稱指標(biāo)
三氯氫硅(SiHCl3 )含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0-6                                                                                                  ≤        10
(一氯硅烷+氯化氫)含量（SiH3Cl+HCl）含量”，以氯化氫計（體積分?jǐn)?shù)）/l0-6                                            ≤50
氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0-6                                                                                                        ≤1
（氧+氬）（O2+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0-6                                                                                          ≤1
一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0-6                                                                                             ≤1
氫（H2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0-6                                                                                                      ≤10
二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0-6                                                                                           ≤1
總烴（THC）含量，以甲烷（CH4）計（體積分?jǐn)?shù)）/l0-6                                                                      ≤1
金屬元素及其他元素含量（硼+鋁）（B+Al）含量/（µg/kg）                    ≤0.1
（磷+砷）（P+As）含量/（µg/kg）                   ≤0.3
鎵（Ga）含量/（µg/kg）                                   ≤0.1
銻（Sb）含量/（µg/kg）                                   ≤0.1
銦（In）含量/（µg/kg）                                    ≤0.1
鈣（Ca）含量/（µg/kg）                                   ≤1
鉻（Cr）含量/（µg/kg）                                   ≤1
鐵（Fe）含量/（µg/kg）                                    ≤5
鉀（K）含量/（µg/kg）                                     ≤1
鈉（Na）含量/（µg/kg）                                    ≤0.2
鎳（Ni）含量/（µg/kg）                                    ≤1
鉬（Mo）含量/（µg/kg）                                   ≤0.1
錳（Mn） 含量/（µg/kg）                                  ≤0.2
銅（Cu）含量/（µg/kg）                                   ≤0.2
鎘（Cd） 含量/（µg/kg）                                  ≤0.5
鈷（Co）含量/（µg/kg）                                   ≤0.5
鋅（Zn）含量/（µg/kg）                                   ≤0.1

 

 

上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司

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