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GC-9560-PDD 四氟化碳分析氦離子色譜儀

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GC-9560-PDD四氟化碳分析氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設(shè)計,并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)。

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四氟化碳分析氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,小檢測濃度可達5ppb。四氟化碳分析氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設(shè)計,并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng),保證不同底氣的樣品的進樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化*項目。

 

項目指     標 
四氟化碳(CF4)純度(體積分數(shù))/10-2    ≥99.99999.99599.99
氮(N2)含量(體積分數(shù))/10-6           <42040
氧+氬(O2+Ar)含量(體積分數(shù))/10-6      <1510
二氧化碳(CO2)含量(體積分數(shù))/10-6    <1510
一氧化碳(CO)含量(體積分數(shù))/10-6     <0.10.51
六氟化硫(SF6)含量(體積分數(shù))/10-6    <115
水分(H2O)含量(體積分數(shù))/含量,10-6  <3510
酸度(以HF計)含量含量(體積分數(shù))/10-6  <0.10.30.3
其它鹵碳化合物a含量(體積分數(shù))/10-6    <11030
總雜質(zhì)含量(體積分數(shù))/l0-6                        105010
顆粒供需雙方商定供需雙方商定供需雙方商定

其它鹵碳化合物包括:六氟乙烷、八氟丙烷等。

 

 

上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司

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