缺陷標(biāo)記 主動對焦 晶圓級檢測顯微鏡為半導(dǎo)體制造、面板顯示以及光伏等工業(yè)領(lǐng)域提供多維度的自動檢測方案。

缺陷標(biāo)記 主動對焦 晶圓級檢測顯微鏡主要參數(shù)：

1.XY手動運動臺動運動臺

8吋晶圓XY手動/電動運動臺模組

XY運動軸精度：≤2 μm

行程：205 mm * 205 mm

XY運動軸帶離合器手柄，可快速移動

2.Z軸運動臺

Z軸同時配備電傳手輪和碼盤

Z軸微調(diào)精度：≤1 μm

行程：≥36 mm

3.物鏡模組

采用蔡司原裝的手動/電動物鏡切換裝置

蔡司EpiPlan消色差物鏡，EPN半復(fù)消色差物鏡以及EPA復(fù)消色差物鏡

4.光源模組

5W LED透射式光源

10W LED透射式光源

5.晶圓放置模組

兼容多尺寸晶圓的載物臺（可兼容4英寸，6英寸和8吋晶圓片）

保留透射光路，晶圓載物臺可拆卸，支持液晶面板的檢測功能

6.成像觀察模組

適配蔡司的Axiocam系列相機，海康威視系列相機

適配蔡司的目鏡（選配）

提供明場/暗場的觀察方式，可選配微分干涉，熒光和偏光的觀察方式

7.遠程控制手柄

物鏡切換裝置按鈕

照明光光強控制按鈕，并且可以隨物鏡/觀察方式自動調(diào)節(jié)當(dāng)前光強

反射照明和透射照明切換按鈕

電傳Z軸聚焦旋鈕，XY運動軸遙感

缺陷標(biāo)記和主動對焦快速確定按鈕

8.主動對焦模組

可兼容主動對焦模組，實現(xiàn)50×物鏡下對被觀察的實時對焦功能

9.缺陷標(biāo)記模組

可兼容缺陷標(biāo)記模組，實現(xiàn)對樣品缺陷部分進行實時標(biāo)記 晶圓搬運模組

10.晶圓搬運模組

可兼容晶圓搬運模組，實現(xiàn)晶圓片的自動上下料

缺陷標(biāo)記 主動對焦 晶圓級檢測顯微鏡為半導(dǎo)體制造、面板顯示以及光伏等工業(yè)領(lǐng)域提供多維度的自動檢測方案