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超聲掃描顯微鏡在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

   2022年06月16日 13:37  
  超聲掃描顯微鏡,Scanning Acoustic Microscope,簡稱SAM,儀器利用材料內(nèi)部組織因密度不同而對超聲波聲阻抗、超聲波吸收與反射程度產(chǎn)生差異的特點,實現(xiàn)對材料內(nèi)部缺陷的定性分析,可以對器件內(nèi)部的結(jié)構(gòu)、夾雜物、裂紋、分層、空洞等進(jìn)行檢測,是提供高分辨率無損檢測的重要手段,在半導(dǎo)體封裝及材料等行業(yè)中具有廣泛的應(yīng)用。
 
  在行業(yè)生產(chǎn)中加入超聲檢測環(huán)節(jié),能夠?qū)Ξa(chǎn)品質(zhì)量進(jìn)行提高,在半導(dǎo)體行業(yè),SAM能夠進(jìn)行塑封、裝片、焊接等缺陷進(jìn)行檢測。
 
  1、塑封分層、空洞缺陷的超聲檢測
 
  塑料封裝與引線框架分層(脫粘)是封裝制造過程中常見的缺陷類型。該缺陷的存在,造成塑封無法有效保護(hù)芯片工作,水汽容易侵入,嚴(yán)重影響器件的壽命和可靠性。只有使用超聲檢測方法,才能有效檢查該缺陷是否存在。
 
  2、半導(dǎo)體裝片/粘片缺陷的超聲檢測
 
  裝片/粘片工序是封裝制造過程的關(guān)鍵工序,裝片/粘片過程中存在的空洞會造成器件在使用過程中散熱能力不足,影響使用壽命和可靠性。使用超聲檢測方法,可以快速有效地識別裝片/粘片空洞缺陷。
 
  3、半導(dǎo)體焊接缺陷的超聲檢測
 
  焊接過程會產(chǎn)生氣泡和空洞,會造成器件在使用過程中散熱能力不足,影響使用壽命和可靠性。使用超聲檢測方法,可以快速有效地識別焊接空洞缺陷。

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