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下降法晶體生長爐氟化鎂晶體爐

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下降式晶體生長爐技術(shù)規(guī)格書一·設(shè)備用途:主要用于LED半導(dǎo)體、太陽能等工業(yè)晶體的提純、制備

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  • 下降式晶體生長爐

    技術(shù)規(guī)格書

    一·設(shè)備用途:

    主要用于LED半導(dǎo)體、太陽能等工業(yè)晶體的提純、制備。

    二·設(shè)備特點(diǎn):

    本設(shè)備采用一體化設(shè)計(jì),立式鐘罩式結(jié)構(gòu),爐膛材料采用優(yōu)質(zhì)的氧化鋁多晶纖維真空吸附制成,節(jié)能50%,爐體采用雙層爐殼結(jié)構(gòu),雙層爐殼之間裝有風(fēng)機(jī),可以快速升降溫,爐殼表面溫度低,**整潔大方。

    三·主要技術(shù)參數(shù)

    1.**使用溫度:1600℃

    2.控溫區(qū):兩區(qū)(一區(qū)高溫區(qū),一區(qū)輔助加熱區(qū))

    3.功率:                          15Kw±10%單相

    4.發(fā)熱材料:硅鉬棒(高溫區(qū))電阻絲(輔助加熱區(qū))

    5.恒溫區(qū)間:200mm(高溫區(qū))

    6.爐膛內(nèi)徑:120mm

    7.測溫系統(tǒng):                   熱電偶

    8.控溫精度:                   ±1℃

    9.坩堝升降:位移行程 300mm

    慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度±0.01mm

              快速升降50-200mm/min(伺服控制)

    坩堝旋轉(zhuǎn):坩堝轉(zhuǎn)速 1~50RPM


    四、結(jié)構(gòu)組成

    1、爐體及爐體升降機(jī)構(gòu)

    2、坩堝升降旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)

    3、變壓器及聯(lián)接電纜

    4、 溫控系統(tǒng)

    五、結(jié)構(gòu)說明

    1、爐體及爐體升降系統(tǒng):爐體殼體采用優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板雙層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù),殼體顏色漆經(jīng)過高溫烘烤而成,經(jīng)久耐用,爐膛采用高純氧化鋁多晶體纖維材料,分兩區(qū)***控溫,高溫區(qū)采用優(yōu)質(zhì)硅鉬棒為加熱元件,輔助溫區(qū)采用優(yōu)質(zhì)電阻絲為加熱元件,兩個(gè)溫區(qū)之間形成溫度梯度,從而保證晶體的正常生長,雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),能快速對溫控系統(tǒng)降溫;該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。爐體整體做成一個(gè)圓筒的罩式結(jié)構(gòu),與固定在支架平臺上的爐底組成一個(gè)完整的爐膛,爐體配有一升降系統(tǒng),可是爐體**升降,方便裝卸料。

    2、坩堝升降旋轉(zhuǎn)系統(tǒng):坩堝升降采用伺服控制,位移精度可達(dá)0.01毫米,控制精度高,它是由一套線性模組和伺服電機(jī),減速機(jī)組成,旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)由旋轉(zhuǎn)電機(jī)減速機(jī)組成,升降和旋轉(zhuǎn)安裝在同***臺上,組成一個(gè)完整的機(jī)構(gòu),安裝在爐底中心位置,從而帶動坩堝桿的升降與旋轉(zhuǎn),坩堝桿的上部裝有一坩堝平臺,采用高溫陶瓷材料,經(jīng)久耐用。

    3、溫控系統(tǒng):電爐的溫度控制采用可控硅功率控制器+低電壓大電流變壓器,可控硅功率控制器采用移相觸發(fā)方式來實(shí)現(xiàn)電壓的無級調(diào)節(jié),從而達(dá)到自動控制功率的目的。采用宇電50段溫控儀表,控溫精度高,可根據(jù)需要設(shè)定多段升溫曲線,從而達(dá)到自動控制溫度的目的。功能強(qiáng)大,操作方便,具有超溫,上線***聲光**功能??刂乒衩姘迳显O(shè)有液晶觸模屏,可顯示、設(shè)定坩堝升降速度,旋轉(zhuǎn)速度、位移等,直觀顯示系統(tǒng)各部件的工作狀態(tài),并可實(shí)時(shí)顯示記錄工況爐內(nèi)的溫度??娠@示溫度、位移曲線,記錄保存數(shù)據(jù),數(shù)據(jù)也可以刪除、導(dǎo)出。爐子的所有動作都有一臺PLC來完成,控制精確自動化程度高。

    4、變壓器及聯(lián)接電纜:采用三相干式變壓器,聯(lián)接電纜采用銅排或軟電纜降低損耗,環(huán)保節(jié)能。


  • 河南酷斯特儀器科技有限公司

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