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技術(shù)指標(biāo)

系統(tǒng)性能
² 測(cè)量方式:?jiǎn)晤l
² 穩(wěn)頻精度:0.05ppm
² 動(dòng)態(tài)采集頻率:50 kHz
² 預(yù)熱時(shí)間:5-10分鐘
² 工作溫度范圍:0~38℃
² 環(huán)境溫度范圍:0~38℃,環(huán)境濕度:0~95%
² 存儲(chǔ)溫度范圍:-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
² 空氣溫度傳感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
² 材料溫度傳感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
² 空氣濕度傳感器:±6% (0-95%)
² 大氣壓力傳感器:±0.1kPa
線性測(cè)量
² 測(cè)量距離:0-40m
² 測(cè)量精度:0.5ppm (0-38℃)
² 測(cè)量分辨率:1nm
² 測(cè)量速度:3m/sec
角度測(cè)量
² 軸向量程:0-15m
² 測(cè)量范圍:±10°
² 測(cè)量精度:±(0.1+0.2%R+0.02M)″(R為顯示值,單位:″;M為測(cè)量距離,單位:m)
² 測(cè)量分辨率:0.1″
平面度測(cè)量
² 軸向量程:0-15 m
² 測(cè)量范圍:±1.5 mm
² 測(cè)量精度:±(0.6%R+0.02 M2)μm(R為顯示值,單位:μm;M為測(cè)量距離,單位:m)
² 基板尺寸:50mm、100mm、150mm
測(cè)量分辨率:0.1μm
直線度測(cè)量
² 軸向量程:0.1-4.0 m
² 測(cè)量范圍:±3.5 mm
² 測(cè)量精度:±(0.5+0.1%R +0.15M2)μm(R為顯示值,單位:μm;M為測(cè)量距離,單位:m)
² 測(cè)量分辨率:0.01μm
垂直度測(cè)量
² 軸向量程:0.1-3.0 m
測(cè)量范圍:±3.5mm
² 測(cè)量精度:±(0.5+0.5%R+0.2M)″(R為顯示值,單位:″;M為測(cè)量距離,單位:m)
² 測(cè)量分辨率:0.01μm/m
回轉(zhuǎn)軸分度精度測(cè)量
² 角度測(cè)量范圍:0-360°
² 精密轉(zhuǎn)臺(tái)角度增量:5°
² 精密轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度:±1″
² 精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)性:0.2″

尺寸重量與供電

² 便攜箱尺寸:560×360×250(基礎(chǔ)系統(tǒng)),560×460×270(完整系統(tǒng))
² 基本重量(含三腳架,包裝):15Kg
² 供電電源:110~265VAC


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