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HOOL L61200A 300mm通用組合水平式檢測干涉儀

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300mm通用組合水平式檢測干涉儀是慧利儀器“大口徑相移式激光干涉儀系列產品之一。它采用經典的斐索型共光路設計,結構簡單、在適用于多種被測樣品的前提下,使用數字化相移分析方法實現(xiàn)高精度、多功能的檢測。不僅實現(xiàn)了干涉測量技術從小口徑到大口徑的更新拓展,而且填了國內制造業(yè)和國家質檢部]對高精度平面檢測設備需求的空白。

詳細信息 在線詢價

                    (1)應用領域


●光學平面計量


●半導體晶圓

●半導體掩膜版基板

●同步輻射

●光刻機光學元件

●航空航天折返成像系統(tǒng)

空間光學器件

●強激光平板玻璃測量等

實現(xiàn)大口徑光學表面面形、透射波前、光學均勻性等參數的檢測。


                     (2)產品綜述


300mm通用組合水平式檢測干涉儀是慧利儀器“大口徑相移式激光干涉儀系列產品之一。它采用經典的斐索型共光路設計,結構簡單、在適用于多種被測樣品的前提下,使用數字化相移分析方法實現(xiàn)高精度、多功能的檢測。

  慧利儀器300mm通用組合水平式檢測干涉儀不僅實現(xiàn)了干涉測量技術從小口徑到大口徑的更新拓展,而且填了國內制造業(yè)和國家質檢部]對高精度平面檢測設備需求的空白。



                   (3)參數性能

測量原理:

斐索干涉原理

光源波長:

632.8nm(穩(wěn)頻氦氖激光器)/633nm(波長調諧激光器)

樣品準直:

雙光點對準,對準角±3度

電源:

AC 220V 50HZ

操作系統(tǒng):

Windows系統(tǒng),銀河麒麟操作系統(tǒng)

CCD分辨率:

1024*1024像素 2048*2048像素

軟件:

HL 數字化相移分析軟件

精密度:

≤入/600

PV測量重復性:

≤入/600

RMS測量重復性:

≤入/8000

RMS波前重復性:≤入/1800

透射平面鏡精度:

A/20 PV


◆材質均勻性

◆超精密平面/球面面形測量

◆光學系統(tǒng)裝調和校準

◆光學組件透射波前測量

◆光學均勻性測量

◆平行度測量

◆角錐角度測量

◎◎我們會傾聽您的需求,支持特殊需求定制



  部分客戶群體:蘇州計量院,上海計量院,福建計量院,上海光機所,石家莊13所,上?,F(xiàn)代先進超精密制造中心有限公司UPEC,長春理工,上海理工等。




















冠乾科技(上海)有限公司

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