Superscope為擁有4個轉(zhuǎn)塔的金相顯微鏡，可安裝4個M Plan APO 95mm金相物鏡。其放大倍數(shù)，根據(jù)所選物鏡的倍數(shù)，通常由20～2000X不等。該系統(tǒng)常用于極小微尺寸的待測點的測試或激光應(yīng)用中。

HAPS探針臺為Superscope配置了兼顧剛性和精度的基座，可進(jìn)行X-Y-Z三方向的精密定位。簡單直接的操作方法，可讓用戶列加專注于測試測量應(yīng)用于中去，而不是探針臺的操作。