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激光干涉儀

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動態(tài)、超精密,嵌入式測量,專業(yè)用戶的選擇.ZD-D1500是國內C9大學、北京合創(chuàng)智達光電科技有限公司聯(lián)合研發(fā)的新一代快速超精密激光干涉儀。

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無標題

ZD-D1500是國內C9大學、北京合創(chuàng)智達光電科技有限公司聯(lián)合研發(fā)新一代快速超精密激光干涉

l 中國計量科學研究院、中國國家等單位應用

ZD-D1500核心技術指標均通過中國計量科學研究院等法定計量機構檢定校準。

l 激光真空波長準確度 1.2×10-8k=3

l 動態(tài)測量分辨力 0.3 nm

l 速度 1500 mm/s

l 數(shù)據(jù)更新率 10MHz

圖片2


ZD D1500特征與優(yōu)勢

n 高測速與高精度的統(tǒng)一!突破了高速激光干涉儀的動態(tài)信號處理技術,無論是動態(tài)測量還是靜態(tài)監(jiān)測,均可實時提供超精密測量結果!

n 非接觸多維振動測量!采用自定義的VME硬件接口模式,更新速度10MHz可實現(xiàn)即測即知,測量動作延遲漂移小于0.3ns,引入動態(tài)測量誤差小于0.5ns

n 本土化產品的快速供應!國外激光測振儀出口受到嚴格管控,而本產品核心部件均來自國內,30 - 50個工作日即可供貨,無需歷經(jīng)嚴苛的審批過程!

n 專家級成套解決方案!超精密級測量儀器的測量精度常被工作環(huán)境、對象等吞沒。依托本公司超精密測量專家團隊,可提供非接觸性激光測量解決方案!

應用領域

n 機械模態(tài)分析

n 振動傳感器校準

n 微電子光刻機

n 超精密數(shù)控機床


n 高頻聲表面波測試

n 瞬態(tài)微觀位移捕獲

n 高速三坐標測量機

n 高速機光測長機


ZD D1500技術規(guī)格

儀器整體規(guī)格


測量速度

1500 mm/s(可選2000 mm/s)

測量分辨力

0.3 nm

線性精度

0.1/0.012ppm(空氣/真空)

數(shù)據(jù)采樣率

10 MHz

穩(wěn)頻激光器


真空激光波長準確度

1.2×10-8 (可選1.0×10-9)

短期頻率穩(wěn)定度

2×10-9/3小時

長期頻率穩(wěn)定度

1.2×10-8/工作周期

激光輸出功率

0.2 - 0.5 mW

干涉鏡組


單軸干涉鏡組

光學4細分

多軸干涉鏡組

光學4細分

光電接收器


探測頭散熱

0 mW

可探測功率

0.5 - 50 μW

電子細分卡


測量分辨力

0.3 nm@光學4細分

接口形式

VME/USB

數(shù)據(jù)更新率

10 MHz

空氣折射率補償


氣壓測量精度

10 Pa

濕度測量精度

0.8% RH

溫度測量精度

0.02 oC

材料溫度補償


溫度測量精度

0.02 oC

測量通道數(shù)

3通道 (可選15通道)

使用要求


使用溫度

15 - 25 oC

使用濕度

20 - 70 % RH

工作時間

20 000 小時


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