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280SI 美國四探針電阻率/方塊電阻測試儀

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4D公司所提供的探針質(zhì)保次數(shù)是25萬次,而實際從客戶反饋的信息是壽命達到100萬次以上,甚至150萬次以上。同時4D還為客戶提供探頭的探針更換服務(wù),大大降低客戶的使用成本。 美國四探針電阻率/方塊電阻測試儀,根據(jù)測試不同工藝要求有A, B,K, M, N等相關(guān)型號探頭選擇,另外還可提供專門為客戶定制的應(yīng)用特殊要求的探針。

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美國四探針電阻率/方塊電阻測試儀

美國4D公司的四探針/方塊電阻/電阻率測試設(shè)備:280SI (普及型號)

· 測量尺寸:晶圓尺寸:2-8寸(333系列可測量大至12寸晶圓,1100系列可測量大至2160mmX2400mm平板系列)

方形片:大至156mm X 156mm;

· 測量范圍: 0.001歐姆/平方 至 800000歐姆/平方(標(biāo)準(zhǔn)型);

可往下擴展至:0.0001歐姆/平方,往上擴展至8e9或8e11歐姆/平方。相對應(yīng)的電阻率,薄膜厚度根據(jù)不同材料不同應(yīng)用而不同,但都是以方塊電阻作為基礎(chǔ)設(shè)備自動計算得出,注意這是選項價格要高不少,建議客戶按實際需求選擇購買。

· 測量方式: 電腦程序自動測量,或不連電腦單測量主機也可實現(xiàn)測量和數(shù)據(jù)顯示,此時非常適合測試不規(guī)整樣片單點測量,適合實際研究需要。

· 測量的數(shù)據(jù): 方塊電阻/電阻率/薄膜厚度,根據(jù)具體應(yīng)用可以設(shè)置不同測量程序。

· 測量的點數(shù): 程序編排任意測量點位置及測量點數(shù)量,對應(yīng)不同客戶不同測量要求任意編程測量點位置與數(shù)量。

· 測量的準(zhǔn)確度:<0.1% (標(biāo)準(zhǔn)模阻);

· 測量重復(fù)性:<0.2% (特定片子);

· 測量速度:>45點/分鐘;

· 測量數(shù)據(jù)處理:根據(jù)需要顯示2D,3D數(shù)值圖,或按要求統(tǒng)計并輸出Excel格式文件;

· 邊緣修正:具有邊緣修正功能,即片子邊緣3mm以內(nèi)區(qū)域都能測量;

· 探針材料:鎢鋼與硅片的接觸電阻小,且耐磨。另外每跟針的軸套采用非常耐磨藍寶石材料,以確保長時間使用后間距的一致性;

· 探針壓力可調(diào)范圍:90-200克之間可調(diào);

· 可供選擇的探頭類型:根據(jù)測試不同工藝要求有A, B,K, M, N等相關(guān)型號探頭選擇,另外還可提供專門為客戶定制的應(yīng)用特殊要求的探針,比如測試薄至30A的薄膜時需要使用MR型探頭,這是四探針設(shè)備供應(yīng)商少有能做到的。

· 設(shè)備應(yīng)用:

    IC FAB/FP dispaly/LED:擴散,離子注入等摻雜工藝監(jiān)控調(diào)試,薄膜電阻率或厚度測量等工序,如Intel,IBM,Motorola,TSMC,CSMC,Applied Materials,Sematech,Linear Technology,Tokyo Electronics,Materials Research,RF Monolithics,Linear Technology,Perkin-Elmer Optoelectronics,Candescent Technology,Hewlett-Packard,SHE America/Japan/Europe,Flip Chip,Delco Electronics,Lite-On Power,Goldstar,Korea Electronics,Posco Huls,SGS-Thomson,CarborundumCodeon,TRW Space&Electronics,Dynamic Research,EKC Technology,Hughes Aircraft,International Rectifier,LG Display,Semitech,Winbond,RF Monolithic,Osram...

    材料類研究:杜邦(中國),電力科學(xué)院,中科院,山東科學(xué)院,清華大學(xué),北京大學(xué),復(fù)旦大學(xué),華師大,電子科大,國家標(biāo)準(zhǔn)化所,質(zhì)檢所,光伏科學(xué)與技術(shù)國家重點實驗室,Applied Materials, Materials Research...
    新能源:尚德,晶澳,英利,阿特斯,天合,LDK,海潤,騰暉,鑫輝,東磁,向日葵,奧特斯維,尖山,晶科,力諾,韓華,神舟,光為,艾力克,吉陽,東營,中盛,F(xiàn)irst solar,Solar world...

美國四探針電阻率/方塊電阻測試儀

· 客戶群廣:國內(nèi)已經(jīng)賣出近300臺之多,*累計各種型號四探針設(shè)備近千臺。

· 使用成本

4D公司所提供的探針質(zhì)保次數(shù)是25萬次,而實際從客戶反饋的信息是壽命達到100萬次以上,甚至150萬次以上。同時4D還為客戶提供探頭的探針更換服務(wù),大大降低客戶的使用成本。

· *高

國內(nèi)行業(yè)內(nèi)有幾百臺的占有率,公司品牌4D已經(jīng)成為四探針的代名詞;
根據(jù)應(yīng)用不同工藝要求對應(yīng)的探針類型詳細(xì)說明:

1.png


測量數(shù)據(jù)電腦圖(2D/3D)

2.png


各類型四探針設(shè)備說明:

3.png

根據(jù)客戶不同使用要求有更多選擇
* 使用液體金屬汞探針替代傳統(tǒng)硬探針的四探針設(shè)備,如:M4PP 3093;
* 針對III IV族化合物材料,應(yīng)用“dynamic AC waveform”克服測量的接觸電阻問題,該型號為:680I;
* 根據(jù)不同應(yīng)用要求,可增加的功能有:溫度控制/補償,邊緣修正,樣品臺定制,自動化要求定制,探頭自動切換,通訊接口擴展,測量范圍擴展等。

冠乾科技(上海)有限公司

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聯(lián)系人:喬小姐

電話:86-021-20962769

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