一、 簡介

UVISEL光譜型相調制橢圓偏振儀(SPME)是一款的儀器，它采用光彈性晶體來調制偏振光，而不是傳統(tǒng)橢偏技術中的機械偏光裝置。
相調制技術在性能上和多種實驗功能方面有著顯著的優(yōu)勢。
與傳統(tǒng)橢偏儀相比，UVISEL光譜型橢偏儀能夠在全譜范圍內測得非常準確的橢偏角(Y, D)，從而可以對透明襯底、超薄薄膜和折射率接近的樣品進行高精度和高靈敏度的特性分析。
相調制技術的原理，使得UVISEL光譜型橢偏儀能夠進行*的參數(shù)測量，包括極化度、各向異性以及Mueller矩陣元素的確定。高達1毫秒/每數(shù)據(jù)點的快速數(shù)據(jù)采集速率，使得UVISEL成為動態(tài)研究和液態(tài)表面測量的理想解決方案。
UVISEL是一臺多功能的光譜型橢偏儀。它覆蓋了190nm到2100nm的寬光譜范圍，而且提供了一系列的自動選件和附件來增強系統(tǒng)的功能、滿足您的實驗需求。模塊化的設計使得UVISEL配置靈活，可以離線、在線甚至為減小占地面積和滿足超凈間要求而集成到一個機柜中。

二、 技術特點

? 光譜型相調制橢圓偏振儀

? 同類產(chǎn)品中的精度和靈敏度

? 寬光譜范圍：142到2100納米

? 模塊化設計

? 包含成熟的光譜型橢圓偏振儀軟件包

? 自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學反應池、液體池、密封池等多種附件

三、主要應用

測量厚度、反射率和透射率、折射率等光學常數(shù)

? 單層膜或多層膜疊加

? 單一膜層

? 液態(tài)膜層

四、技術能力

光譜波長范圍：190-2100nm

光源：75W Xe燈

光斑大?。簶伺?lt;3mm，小光斑50μm可選

探測器：分別針對紫外，可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器

自動樣品臺尺寸：6/8寸多種樣品臺可選

自動量角器：變角范圍35° - 90°，全自動調整，小步長0.01°

五、應用

半導體薄膜：光刻膠、工藝薄膜、介電材料

液晶顯示：OLED、玻璃厚度、ITO

光學鍍膜：硬涂層厚度、減反涂層

高分子薄膜：PI、PC