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金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MOCVD)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 上海市
  • 廠商性質(zhì)
  • 更新時(shí)間 2019/12/18 9:13:51
  • 訪問(wèn)次數(shù) 937

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我們提供了一套完整的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MOCVD),主要產(chǎn)品包括臺(tái)式研發(fā)型、中試型和生產(chǎn)型。其反應(yīng)器的設(shè)計(jì)可以根據(jù)工藝的需要很容易提升到滿足大直徑晶片生產(chǎn)的需要。我們也能為客戶設(shè)計(jì)以滿足客戶特殊工藝和應(yīng)用的需要。

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我們提供了一套完整的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MOCVD),主要產(chǎn)品包括臺(tái)式研發(fā)型、中試型和生產(chǎn)型。其反應(yīng)器的設(shè)計(jì)可以根據(jù)工藝的需要很容易提升到滿足大直徑晶片生產(chǎn)的需要。我們也能為客戶設(shè)計(jì)以滿足客戶特殊工藝和應(yīng)用的需要。系統(tǒng)部件包括:反應(yīng)器、氣體傳輸系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)。

金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MOCVD)應(yīng)用方向:氧化物、氮化物、碳化物、硫族(元素)化物、半導(dǎo)體等

提供適用不同材料研究需要的反應(yīng)器:
透明導(dǎo)體氧化物(TCO)應(yīng)用于LCD、太陽(yáng)能電池、透明加熱器、電極、LED、OLED等方面包括:P型ZnO, ITO, SrCuO,MgAlO,SrRuOm等MOCVD系統(tǒng)
MEMS & MOEMs包括:PZT, ZrO, NbO,LiNbO, TiO2,SiO2,PbMgO, CMO,Ta2O5等MOCVD系統(tǒng)
儲(chǔ)存器 (DRAM & NVRAM)介電/鈍化材料應(yīng)用于柵極、介電層、鐵電、高頻設(shè)備、鈍化、保護(hù)層等,包括:BST,PZT, SBT, CMO, BLT,Hf(Si)O, Ta2O5,,Zr(Si)O,Al2O3, MgO等MOCVD系統(tǒng)
波導(dǎo), 光電, WDMs. MOEMS 等材料,包括:YBCO, PZT, ZnO, ZnSiO:Mn, GaN,SiC, Al, W, Cn等MOCVD系統(tǒng)
其他材料如:超導(dǎo)、氮化物、氧化物、磁性材料、包括:YBCO, PZT, ZnO, ZnSiO:Mn, GaN,SiC, Al, W, Cn等MOCVD系統(tǒng)
金屬及合金, 氧化物, 氮化物, III-V, II-VI,...
半導(dǎo)體: SiO2, HfO2, Ta2O5, Cu, TiN, TaN, ...
氮化物及合金: GaN, AlN, GaAs, GaAsN...
高介電材料:SrTiO3, BaTiO3, Ba(1-x)SrxTiO3 (BST)...
鐵電材料: SBT, SBTN, PLZT, PZT,…
超導(dǎo)材料:YBCO, Bi-2223, Bi-2212, Tl-1223, …
壓電材料: (Pb, Sr)(Zr,Ti)O3, 改性鈦酸鉛...
金屬:Pt, Cu,...
巨磁阻材料...
熱涂層, 阻擋層, 機(jī)械涂層, 光學(xué)材料...


我們提供了從桌面型反應(yīng)器(針對(duì)研究和提高的需要)到自動(dòng)化生產(chǎn)系統(tǒng)。出于材料變化種類的適應(yīng)性和經(jīng)濟(jì)價(jià)格的考慮,對(duì)任何研究人員來(lái)說(shuō)桌面型反應(yīng)器是合適的選擇,而且也極容易升級(jí)為量產(chǎn)型。

科研型MOCVD設(shè)備,包含液體直接注入ALD工藝,同一腔室完成沉積和退火。
-更低的設(shè)備及使用成本、更少的前驅(qū)體源使用、更小的腔體尺寸、跟高的薄膜沉積品質(zhì)!
-非常適合高校及研究所科研使用!

儀器參數(shù):
1/ 1~4英寸MOCVD系統(tǒng);
2/ 專為滿足科研單位需求而設(shè)計(jì);
3/ MOCVD系統(tǒng)可在不同基底上,以MOCVD方式,在固體、液體有機(jī)金屬基源上沉積氧化物、氮化物、金屬、III-V 和 II-VI膜層;
4/ MOCVD配有前驅(qū)體直接處理單元,可在大范圍內(nèi)使用MO源,用于外延材料的研發(fā)和制備;
5/ MOCVD腔室中的紅外燈加熱系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)在線退火工藝;

性能及特點(diǎn):
1, 溫度范圍: 室溫至1200°C ;
2, 帶質(zhì)量流量控制器的氣體混合性能;
3, 真空范圍: ~ 10-3 Torr,可選配高真空;
4, 選配手套箱;
5, 已被客戶廣泛接受
6, 堅(jiān)固耐用
7, 可靠性高
8, 良好的可重復(fù)性
9, 經(jīng)濟(jì)適用


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