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P 系列 粉末原子層沉積系統(tǒng)

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P 系列粉末原子層沉積系統(tǒng)是 Forge Nano 針對(duì)工業(yè)包覆研發(fā)的粉末 ALD 負(fù)載系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn) kg 級(jí)粉末批量包覆,是工業(yè)生產(chǎn)前理想的研發(fā)工具。

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P 系列粉末原子層沉積系統(tǒng)

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粉末包覆可有效提升材料性能與使用壽命,如鋰電正極或負(fù)極材料,經(jīng)過(guò)表面包覆處理后在放電性能及循環(huán)使用壽命方面都有明顯提升,但目前工業(yè)的包覆手段以機(jī)械混合的干法為主,該方法包覆均勻性較差,性能提升有限。ALD 技術(shù)可實(shí)現(xiàn)高精度及均勻包覆,是理想的包覆手段。Forge Nano 針對(duì)粉末類(lèi)材料比表面積大的特點(diǎn),采用流化床技術(shù)實(shí)現(xiàn)粉末材料的流化,從而保證前驅(qū)體與粉末實(shí)現(xiàn)充分的接觸。P 系列粉末原子層沉積系統(tǒng)是 Forge Nano 針對(duì)工業(yè)包覆研發(fā)的粉末 ALD 負(fù)載系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn) kg 級(jí)粉末批量包覆,是工業(yè)生產(chǎn)前理想的研發(fā)工具。


產(chǎn)品規(guī)格原子層沉積多少錢(qián)


1. 前驅(qū)體通道:2-8

2. 腔室容量:0-600ml

3. 反應(yīng)器溫度:450℃

4. 最高工藝溫度:200℃

5. 振動(dòng)流化床反應(yīng)器

6. 模塊:流化輔助,質(zhì)譜,臭氧發(fā)生器,等離子體發(fā)生器


產(chǎn)品特點(diǎn)


P 系列是 Forge Nano 專(zhuān)為粉末 ALD 開(kāi)發(fā)的研發(fā)級(jí)工具,可輕松實(shí)現(xiàn) kg 的粉末包覆。使用流化床技術(shù)可保證粉末在反應(yīng)器中的分散,有利于前驅(qū)體擴(kuò)散。

圖片5.png

流化輔助

粉末在長(zhǎng)時(shí)間存放或流化不充分時(shí)容易出現(xiàn)團(tuán)聚,導(dǎo)致無(wú)法形成理想的流化態(tài)。因此利用流化輔助模塊,高剪切氣流以及振動(dòng)反應(yīng)器的設(shè)計(jì)可沖散團(tuán)聚顆粒,確保分散效果。


分區(qū)加熱

所有前驅(qū)體源均可獨(dú)立加熱,保證運(yùn)輸條件,這對(duì)于部分低蒸汽壓的前驅(qū)體以及敏感的基底材料非常重要。P 系列也擁有*的閥門(mén)控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)多通道前驅(qū)體輸運(yùn)。


在線監(jiān)測(cè)

P 系列配置了氣體在線分析系統(tǒng),對(duì) ALD 工藝的改善有較大幫助,使用者可通過(guò)氣體成分判斷反應(yīng)的完成度。


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應(yīng)用

鋰電池:鋰電正極或負(fù)極材料的包覆可有效提升其放電性能及使用壽命。常見(jiàn)的 NCM 與磷酸鐵鋰,在表面包覆 Al2O3 等氧化物薄膜后,在經(jīng)過(guò)多次放電后,仍可保持較高的能量密度。



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3D 打?。?/strong>3D 打印粉末存在腐蝕及表面氧化的問(wèn)題,會(huì)影響最終器件的性能。通過(guò)表面涂層改性,可有效延緩氧化及腐蝕。傳統(tǒng)的包覆方式是在器件表面進(jìn)行 ALD 沉積,但對(duì)于 3D 打印粉末,直接對(duì)原材料粉末改性無(wú)疑是更有效的手段。


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催化:催化反應(yīng)大多數(shù)是發(fā)生在材料表面的界面反應(yīng),因此對(duì)于催化劑材料進(jìn)行表面構(gòu)筑改性是有效的性能提升手段。利用 ALD 可以直接在粉末,纖維材料表面生長(zhǎng)高活性納米涂層,另一種方法是利用模板法結(jié)合 ALD 在表面構(gòu)筑特定結(jié)構(gòu),暴露活性位點(diǎn)。此外,也可以在特定的顆粒表面進(jìn)行表面包覆,防止催化劑燒結(jié)團(tuán)聚。


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