說明：

QF系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機(jī)構(gòu)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線滑臺(tái)。該系列滑臺(tái)具有 高穩(wěn)定度、高分辨率，精密位移，大負(fù)載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機(jī)構(gòu)，工作過程沒有摩擦，無灰塵產(chǎn)生，沒有爬行現(xiàn)象。直線電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，齒槽小，分辨率高，輕松實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)定位需求。產(chǎn)品尺寸較多，可以根據(jù)需要靈活選擇，QF 系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對(duì)于精密位移亞微米級(jí)調(diào)整有需求的客戶。臺(tái)面多種標(biāo)準(zhǔn)孔位的安裝孔適合不同需要，下方標(biāo)準(zhǔn)固定孔方便將其與其他滑臺(tái)連接，組成多維移動(dòng)臺(tái)。

納米/氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列臺(tái)命名規(guī)則：

QF 25-300 S-BNA

以上命名規(guī)則除技術(shù)規(guī)格列表內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，其余配置請(qǐng)聯(lián)系銷售進(jìn)行定制。

QF系列氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)選項(xiàng)表

說明 ：

1.以上測(cè)試數(shù)據(jù)在使用TMC-NET-2L  控制系統(tǒng)下，采用GB/T17421.2 雙軸線擬合下，采用等級(jí)為VC-C 環(huán)境下隔振系統(tǒng)所測(cè)試；

2.測(cè)試用氣體0.5MPa 壓縮空氣，做過濾和除水工藝；

3.測(cè)試環(huán)境介于萬(wàn)級(jí)~十萬(wàn)級(jí)潔凈空間內(nèi)；

4.測(cè)試溫度20±1℃,濕度40~60%。

特點(diǎn)和選型指導(dǎo)

尺寸圖：