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芬蘭PICOSUN原子層沉積系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京伯英科技有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 所在地 北京市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時間 2025/2/24 10:27:01
  • 訪問次數(shù) 26

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芬蘭PICOSUN公司是ALD技術(shù)發(fā)明人TuomoSuntola創(chuàng)立的,與Picosun專家隊伍被稱為ALD的

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芬蘭PICOSUN公司是ALD技術(shù)發(fā)明人Tuomo Suntola創(chuàng)立的,與Picosun專家隊伍被稱為ALD的。

Suntola于1974年發(fā)明ALD技術(shù),因此獲得半導體行業(yè)European SEMI 2004獎。

PICOSUN公司憑借其杰出的生產(chǎn)型與科研型產(chǎn)品,于2022年6月加入美國應用材料公司。


PICOSUN產(chǎn)品分為科研型與生產(chǎn)型。

科研型產(chǎn)品有:

標準型PICOSUN™ R-200 Standard,只有熱法原子層沉積系統(tǒng)

高級型PICOSUN™ R-200 Advanced,有熱法原子層沉積系統(tǒng)等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)

高級型ALD可以添加前沿的微波等離子體輔助增強模塊Microwave Plasma, 這種微波等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)在顆粒、薄膜致密性表現(xiàn)更好,同時有可能沉積具有挑戰(zhàn)性的一些氮化物薄膜,如氮化硅等。







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