德國YXLON Cougar EVO和Cheetah EVO系列X-RAY用于為SMT,半導(dǎo)體，元器件,晶圓,IC,BGA,PTH，PCB，IGBT，傳感器，MEMS和MOEMS，TSV硅穿孔等失效分析檢測，提供同級別產(chǎn)品中的開放管3D X-RAY檢測設(shè)備（CT斷層掃描）。
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1.160KV電壓、檢測出小于1微米的缺陷、清晰度高的非晶硅平板探測器的開放管X-RAY檢測系統(tǒng)
2.極短時間內(nèi)生成高清晰度的2D和3D圖片
3.簡單易用的FGUI交互界面
4.德國，高
5.幾何放大倍數(shù)3000倍
6.已購買的客戶：華為、中芯國際、長電集團(tuán)、比亞迪、富士康、OPPO、廣州5所、日月光、富士通、賽意法、馬瑞利等眾多SMT、半導(dǎo)體、實驗室、研究所、科研院?？蛻羧后w
7.目前業(yè)界做CT斷層掃描時間的設(shè)備，最短時間5分鐘左右
系統(tǒng)優(yōu)勢
1. 精確，快速，可重復(fù)手動及自動檢測
2. 對微小部件進(jìn)行高功率，高精度檢測
3. 簡單易用，高動態(tài)圖像，增強(qiáng)型濾鏡功能（eHDR）
以上視頻為芯片做CT后仿真圖片合成的視頻，點擊播放后需耐心等待10秒，謝謝！
系統(tǒng)能力
Cougar EVO集合了諸多YXLON的革新技術(shù):FeinFocus開放X射線管技術(shù),的高功率靶技術(shù),精細(xì)校準(zhǔn)且長壽命平板探測器以及穩(wěn)定的操作臺系統(tǒng),這使得Cougar ECO能極快的生成高精度和高清晰度的二維和三維圖像,以此能夠使用戶輕松簡單地辨認(rèn)出缺陷。
除了優(yōu)秀的成像外,通過Cougar EVO您能夠獲得一種更精簡、友好易用的操作,以及直觀的FGUI-Feinfoucs圖形用戶交互界面軟件,以及各種自動化體驗。一鍵操作功能使手動檢測變得更容易,實時eHDR濾鏡去噪功能使圖像更加。
同時教學(xué)模式使編寫復(fù)雜的自動進(jìn)程變的簡單,這一功能會引導(dǎo)操作者完成整個操作步驟,并提供可重復(fù)的,可靠的結(jié)果,以及自動生成的檢測報告,系統(tǒng)安全性符合標(biāo)準(zhǔn),德國設(shè)計制造。
利用CT功能獲得的掃描結(jié)果,用戶可以從三維立體的角度通過斷層分析方法分辨物體內(nèi)部缺陷。
BGA擴(kuò)展檢測功能:
運用EVO系統(tǒng)您能夠快速的選取和標(biāo)注單個焊球,利用手動或全自動矩陣檢測,全自動識別BGA完成檢測。用戶只需根據(jù)系統(tǒng)的指引一步步地輕松完成檢測流程即可確保獲得精準(zhǔn)及可重復(fù)的檢測結(jié)果。此外這一功能可供多個用戶運行同一個檢測流程。
預(yù)設(shè)ADR(自動缺陷識別)擴(kuò)展接口:EVO系統(tǒng)能提供定制化的解決方案。根據(jù)客戶的特定需求來開發(fā)特定的軟件算法,來實現(xiàn)全自動缺陷識別檢測功能。
| Y.Cougar EVO 配置 |
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| 一般產(chǎn)品參數(shù) |
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| 顯視器 | 24吋寬屏視角 |
| 操控方式 | 鼠標(biāo)或搖桿 |
| 檢測區(qū)域 | 310 mm x 310 mm |
| 樣品尺寸 | 440 mm x 550 mm |
| 載物臺控制軸 | X,Y, 探測器上下，射線管上下等 |
| 探測器傾斜角 | +/-70° (140°) |
| 設(shè)備尺寸(長/寬/高) | 1100 / 1050 / 2200 mm |
| 重量 | 約1,450 kg |
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| EVO系列通用參數(shù) |
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| X射線管參數(shù) |
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| X射線管類型 | 開放式X射線管 |
| 靶 | 穿透式 |
| 電壓范圍 | 25–160 KV |
| 管電流范圍 | 0.01–1.0 mA |
| 管功率 | 64 W |
| 標(biāo)靶功率 | 標(biāo)配10W，高配15W |
| 空間分辨率 | <1.5 μm/LP |
| 最小缺陷檢測能力 | <0.75 μm |
| X射線強(qiáng)度控制技術(shù) | TXI技術(shù)，確保圖像穩(wěn)定 |
| 圖像處理系統(tǒng) |
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| 幾何放大倍數(shù) | 2000倍(Cheetah EVO為3000倍) |
| 系統(tǒng)放大倍數(shù) | 10000倍(Cheetah EVO為20000倍) |
| CT參數(shù)(升級功能) |
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| μCT 掃描周期 | 約3min |
| μCT 重構(gòu)時間 | 約60 s |
| micro3Ds 掃描周期 (秒) | 約20 s |
| micro3Ds 重構(gòu)時間 (秒) | 約20 s |
