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Park Systems原子力顯微鏡 XE-7

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Park Systems原子力顯微鏡 XE-7,的納米領域研究利器。的三軸分離設計,既保證了XYZ三個方向無耦合效應,從原理上消除了平面扭曲誤差;同時獨立的Z軸掃描器,實現(xiàn)了真正的非接觸式掃描,極大地擴展了樣品適用范圍。自上而下的直視光路,方便用戶對探針和樣品的觀察,專門設計的探針安裝方式,簡化了光路調(diào)整過程,降低了操作難度。

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Park Systems原子力顯微鏡 XE-7

儀器簡介:

    的納米領域研究利器。的三軸分離設計,既保證了XYZ三個方向無耦合效應,從原理上消除了平面扭曲誤差;同時獨立的Z軸掃描器,實現(xiàn)了真正的非接觸式掃描,極大地擴展了樣品適用范圍。自上而下的直視光路,方便用戶對探針和樣品的觀察,專門設計的探針安裝方式,簡化了光路調(diào)整過程,降低了操作難度。

 

Park Systems原子力顯微鏡 XE-7技術參數(shù):

掃描器

XY掃描器

柔性制導閉環(huán)控制單模塊掃描器

掃描范圍10μm*10μm(可選50μm*50μm ,100μm*100μm)

平面偏移度:<2nm(40μm*40μm掃描)

 

Z掃描器

柔性制導強力掃描器

掃描范圍12μm(可選25μm)

共振頻率:>5kHz

表面成像噪聲:0.03nm

 

樣品臺

樣品尺寸: 100mm*100mm*20mm

樣品重量:zui大500g

樣品臺移動范圍:13mm*13mm

 

主要特點:

一、精確的XY方向掃描,消除了交叉耦合誤差

●使用獨立的閉環(huán)XY平板式掃描器和Z軸掃描器

●平板式的掃描掃描器,殘留彎曲誤差極小

●整個掃描范圍內(nèi)的水平線性誤差小于2nm

●精確的高度測量

 

二、Non-Contact™(真正非接觸) 模式能夠延長針尖壽命,提供高分辨率及保護樣品

●Z伺服速度是壓電陶瓷管的10倍

●非接觸模式可降低針尖磨損、延長使用壽命

●成像分辨率優(yōu)于同類原子顯微鏡

●增強樣品兼容性,提高掃描精度

 

三、zui豐富的功能拓展

●支持多種SPM模式

●支持多種選配測量模式

●支持各種可選配件,擴展性能

 

四、zui為便利的使用設計

●開放式樣品空間,提高樣品及針尖更換效率

●預對準針尖安裝和同軸直視光路直觀地實現(xiàn)激光對準

●燕尾鎖方便掃描頭拆卸



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