簡介

制程片PL檢測模組可應(yīng)用于制絨、擴(kuò)散、刻蝕、PECVD工藝后，對過程片進(jìn)行缺陷檢測。

可安裝于刻蝕上料、PECVD下料、絲網(wǎng)上料處以及離線設(shè)備，結(jié)合客戶端現(xiàn)有設(shè)備實(shí)現(xiàn)剔除。

采用了特殊定制相機(jī)和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法相結(jié)合，可快速、準(zhǔn)確地檢測出缺陷，檢測速率大大提升。

采用非接觸式的檢測方式，大大降低了在生產(chǎn)電池片各個工藝過程中的碎片率，是分析工藝問題、提高成品率、降低成本的視覺檢測設(shè)備。為產(chǎn)品質(zhì)量提供了可靠的保障。

                         過程片

產(chǎn)品特性

產(chǎn)能大于4500片/小時

兼容多尺寸片源，更換尺寸無需更換硬件，降低人力及耗材成本

無接觸式檢測，不會對過程片造成二次損傷

提前篩選出問題片，節(jié)約制造成本                                                                            

自動統(tǒng)計各類缺陷、良品數(shù)量及比例

適用于制絨、蝕刻、擴(kuò)散、PECVD等多種工序

技術(shù)指標(biāo)

缺陷對比圖