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美國(guó)進(jìn)口API激光干涉儀

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API激光干涉儀儀器簡(jiǎn)介:5D/6D激光干涉儀是API的產(chǎn)品,一次安裝能夠同時(shí)測(cè)量線性軸的六個(gè)誤差,包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差、3個(gè)角度誤差

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API激光干涉儀


儀器簡(jiǎn)介:
5D/6D激光干涉儀是API的產(chǎn)品,一次安裝能夠同時(shí)測(cè)量線性軸的六個(gè)誤差,包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測(cè)試,使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成,實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明,節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%。該儀器體積小,重量輕,可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成,從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過(guò)干涉后,被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束,一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋,經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子記數(shù),記錄精確長(zhǎng)度位移。第二束光用作直線度測(cè)量的參考光束,傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級(jí)管測(cè)得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源,用來(lái)測(cè)量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。為了保證激光光束的穩(wěn)定性,測(cè)量?jī)x在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮,以使測(cè)量?jī)x的橫向和角度漂移量都降低到最小,從而保證測(cè)量?jī)x的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。測(cè)量?jī)x配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器,自動(dòng)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長(zhǎng)及長(zhǎng)度測(cè)量的影響,測(cè)量?jī)x還配有專門設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器,使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測(cè)量誤差降到最小。


技術(shù)參數(shù):
5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型:
1. 線性:0.5ppm
2. 測(cè)量范圍:40米(1D可選80米)
3. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
4. 范圍:800角秒
5. 滾動(dòng)角精度:1.0角秒
6. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
7. 范圍:500um
8. 垂直度精度:1角秒
9. 溫度:0.2攝氏度
10.濕度:5%
11.壓力:1mmHg

5D/6D精密型:
1. 線性:0.2ppm
2. 測(cè)量范圍:25米
3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.5+0.05/m)角秒或1%顯示較大值
4. 范圍:400角秒
5. 滾動(dòng)角精度:0.5角秒
6. 直線度精度:(0.5+0.1/m)um或1%顯示較大值
7. 范圍:300um
8. 垂直度精度:0.5角秒
9. 溫度:0.1攝氏度
10.濕度:3%
11.壓力:0.3mmHg

5D/6D高精密型:
1. 線性:0.2ppm
2. 測(cè)量范圍:根據(jù)用戶要求而定
3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.2+0.02/m)角秒
4. 范圍:500角秒
5. 滾動(dòng)角精度:0.5角秒
6. 直線度精度:(0.2+0.05/m)um
7. 范圍:100um
8. 垂直度精度:0.5角秒
9. 溫度:0.1攝氏度
10.濕度:3%
11.壓力:0.3mmHg


主要特點(diǎn):
1. 同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無(wú)線遙控傳感器最長(zhǎng)的控制距離可到25米
4. 可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù),并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。
5. 全套系統(tǒng)重量?jī)H15公斤,設(shè)計(jì)緊湊、體積小,測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時(shí)間

  

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