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高性能聚焦離子束系統(tǒng) MI4050

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  • 公司名稱 深圳市汐品科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 深圳市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2024/7/16 15:10:46
  • 訪問次數(shù) 219

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MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng):新型電子光學(xué)系統(tǒng),可達(dá)到高水準(zhǔn)的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率,使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能可用于截面加工觀察,高品質(zhì)TEM樣品制備,電路修復(fù),Vector Scan加工,微納米級(jí)微細(xì)圖形及磨具加工,利用沉積功能制作3維構(gòu)造等眾多樣品加工應(yīng)用。

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概述
產(chǎn)品參數(shù)

MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng):新型電子光學(xué)系統(tǒng),可達(dá)到高水準(zhǔn)的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率,使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能
可用于截面加工觀察,高品質(zhì)TEM樣品制備,電路修復(fù),Vector Scan加工,微納米級(jí)微細(xì)圖形及磨具加工,利用沉積功能制作3維構(gòu)造等眾多樣品加工應(yīng)用。


產(chǎn)品參數(shù)
項(xiàng)目內(nèi)容
樣品尺寸50mm×50mm×12mm(t)以下
樣品臺(tái)5軸電動(dòng)機(jī)械優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái)
加速電壓1~30kV?。?.5kV~ 選配)
(0.5~1.0kV : 步長(zhǎng)0.1kV)
(1.0~2.0kV : 步長(zhǎng)0.2kV)
二次電子分辨率4nm@30kV
探針電流90nA
探針電流密度50A/cm2



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