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AL-2600 氬離子刻蝕截面研磨儀(手套箱專用)

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一、產(chǎn)品特點:1、加工面積大:樣品尺寸:0~?25mm

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一、產(chǎn)品特點:

    1、加工面積大:樣品尺寸:0~?25mm;

    2、樣品表面更均勻;

    3、加工時樣品表面能量低,特別對于薄膜、高分子樣品(對溫度敏感性高的樣品)損傷小;   
    4、控制精度高,實驗結(jié)果精準可控重復(fù)性高;

    5、配備專用截面樣品臺;

    6、可實現(xiàn)多種功能:離子減薄、等離子清洗、截面樣品拋光、離子刻蝕、EBSD樣品制備;

    7、專用擋板;   

    8、制備單個樣品可實現(xiàn)不同能量自動調(diào)整;

    9、數(shù)字化自動控制系統(tǒng)。


二、技術(shù)參數(shù):

    1、真空度:極限真空度5*10-3Pa (不通氬氣);

    2、*高壓:(1)200~10000V;

    3、樣品臺可旋轉(zhuǎn);

    4、具有自保護功能;

    5、雙離子槍可獨立控制;

    6、樣品冷卻:半導(dǎo)體冷卻( 選配件);

    7、支持手套箱。

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