硅片超聲波清洗機用于晶圓片擴散、蒸發(fā)、CAV生產(chǎn)前的清洗處理。該機共有六種清洗方式可供選擇，清洗程序為純水清洗、*清洗、冷熱純水沖洗、酸洗（HF）、純水清洗。

硅片超聲波清洗機概述：

該設(shè)備用于晶圓片擴散、蒸發(fā)、CAV生產(chǎn)前的清洗處理。該機共有六種清洗方式可供選擇，清洗程序為純水清洗、*清洗、冷熱純水沖洗、酸洗（HF）、純水清洗。其工藝性能指標及可靠性*達到進口同類設(shè)備水平，但價格、售后服務(wù)、備品備件的供給等是進口設(shè)備*的。

硅片超聲波清洗機主要特點：

采用進口PP板制作。

適用2-6寸硅片清洗。

超聲功率強勁，性能穩(wěn)定。

超聲波清洗原理：

由超聲波發(fā)生器所發(fā)出的高頻超聲振蕩信號，通過換能器轉(zhuǎn)換成高頻機振蕩而傳播到介質(zhì)—清洗溶劑中，利用超聲波在清洗溶劑中的“空化作用”，使液體流動而產(chǎn)生數(shù)以萬計的小氣泡，這些氣泡在超聲波縱向傳播成的負壓區(qū)形成、生長，而在正壓區(qū)迅速破裂，就是在這種被稱為“空化”效應的過程中氣泡破裂產(chǎn)生超過1000個大氣壓的瞬間高壓，連續(xù)不斷產(chǎn)生的瞬間高壓產(chǎn)生一串小“爆炸”不斷地沖擊被清洗物體的表面，孔隙、縫道，使物體表面及縫隙中的污垢迅速剝落，從而達到被清洗物件凈化的目的。因此利用超聲波清洗質(zhì)量好、速度快。對一般常規(guī)清洗方法，可達到清潔度要求，尤其對幾何形狀比較復雜，帶有各種小孔，彎孔和盲孔等被清洗物件，采用超聲波清洗的潔凈效果更為明顯。