光譜角分布測量系統(tǒng)， 樣品置于上層旋臺，探測器置于下層旋臺，樣品和探測器可以任意角度工作， 臺面上放置一個五維調(diào)整鏡座，可將樣品調(diào)整到旋臺的旋轉(zhuǎn)中心并且垂直于臺面

光譜角分布測量系統(tǒng)

 全波段光譜透過率測量，透射角分布測量

 全波段光譜反射率測量，反射角分布測量

 波長范圍:200nm-IR

 不同的光譜范圍可能需要不同的光學光路設計結(jié)構(gòu)

 雙層平臺旋轉(zhuǎn)，重復定位精度0.005°，分辨率0.00125°

 樣品置于上層旋臺，探測器置于下層旋臺，樣品和探測器可以任意角度工作

 臺面上放置一個五維調(diào)整鏡座，可將樣品調(diào)整到旋臺的旋轉(zhuǎn)中心并且垂直于臺面

 功能擴展：測量光柵衍射效率