KOSAK ET200臺階儀主要是觸針形狀不同，ET(俗稱Alpha-step)是R 2um/60度鉆石制、AFM 是蝕刻制，故幾乎無角度。也因此若純粹膜厚兩種都OK，差異是有些細(xì)微表面ET掉不進(jìn)去，故nm以下的表面粗度則以AFM為主。

主要是觸針形狀不同，ET（俗稱Alpha-step）是R 2um/60度鉆石制、AFM 是蝕刻制，故幾乎無角度。也因此若純粹膜厚兩種都OK，差異是有些細(xì)微表面ET掉不進(jìn)去，故nm以下的表面粗度則以AFM為主。