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更新時(shí)間：2023-01-08 13:09:30瀏覽次數(shù)：1092評(píng)價(jià)
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Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀
Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀融合了高級(jí)表征、可定制選項(xiàng)和易用性，可以提供快速、準(zhǔn)確和可重復(fù)的非接觸式三維表面計(jì)量方法。
它的操作和分析軟件系統(tǒng)提供了更易于使用的界面和簡(jiǎn)潔的功能，可以訪問(wèn)多種預(yù)編程濾鏡和分析工具，用于精密加工的表面，薄膜，半導(dǎo)體，眼科，醫(yī)療設(shè)備，MEMS和摩擦學(xué)等領(lǐng)域的測(cè)量分析。
Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀滿(mǎn)足計(jì)量要求，具有很好的Z軸分辨率和準(zhǔn)確性，并在更小的占地面積內(nèi)提供了布魯克白光干涉儀（WLl）落地式型號(hào)所具備的業(yè)界認(rèn)可的優(yōu)點(diǎn)。它對(duì)反射率從0.05%到100 %的各種表面都非常易于測(cè)量。
Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀擁有三款型號(hào)，分別是GT100、GT200、GT500，它們的技術(shù)參數(shù)如下：
Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀
| 型號(hào) | GT100 | GT200 | GT500 |
| 圖片 |  |  |  |
| 樣品臺(tái)區(qū)別 | 手動(dòng)樣品臺(tái)
| 自動(dòng)樣品臺(tái)
| 高級(jí)自動(dòng)化樣品臺(tái)
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| 技術(shù)參數(shù) | 掃描量程：≤10mm 垂直分辨率：＜0.01nm 水平分辨率：0.38μm min（Sparrow criterion），0.13μm（with AcuityXR） 臺(tái)階高度準(zhǔn)確性：＜0.75% 臺(tái)階高度重復(fù)性：＜0.1% 1 sigma repeatability 掃描速度：37μm/sec(with standard camera) 樣品傾角：≤40°（shiny surfaces），≤87°（rough surfaces） 樣品高度：≤100mm（4 in.） | ||
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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