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國內(nèi)某 OLED 鍍膜機(jī)廠家配置伯東美國 HVA 真空閥門 11000 系列，尺寸以 4”, 6”, 8”閥門口徑為主的標(biāo)準(zhǔn)不銹鋼氣動高真空閘閥,
HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)格:
閥門材質(zhì): | |
- 閥門主體 | 304 不銹鋼 |
- 焊接波紋管軸封 | AM - 350 |
閥門密封方式 | |
- 高真空 | 氟橡膠 |
- 超高真空 | 銅墊圈 / 氟橡膠 |
真空: | |
- 壓力范圍 | 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
- 漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
- 差壓關(guān)閉 | 1 bar ( 任意位置 ) |
- 開啟前壓力 | ≤ 30 mbar |
烘烤溫度（不含電磁閥）: | |
- 彈性體密封閥蓋 | 150°C |
- 金屬密封閥蓋 | -開啟溫度：200°C -關(guān)閉值：150°C |
- 驅(qū)動方式 | 手動 60 °c, 氣動 60 °c |
機(jī)制 | |
手動： | 手搖曲柄 |
電磁閥供電電壓 | 120 VAC 50 /60 Hz |
電磁閥可選電壓 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
電磁閥位置指示器 | 115 VAC |
氣動送風(fēng)： | 80 psig |
使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定) | |
公稱通徑: DN 16 - 800 mm | |
下圖是某 OLED 鍍膜機(jī)廠家配置上海伯東美國 HVA 高真空閥門
OLED 鍍膜機(jī)主要面向有機(jī)半導(dǎo)體照明客戶, 需要鍍膜機(jī)性能更穩(wěn)定, 器件效率更高, 性價比高,
對于生產(chǎn) OLED 鍍膜機(jī)的客戶, 為了節(jié)省抽空時間和防止基片的污染, 會選擇在 LOADLOCK 與主腔間進(jìn)行快速傳樣, 由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會在腔室之間增加高真空閥門來隔離系統(tǒng).
伯東美國 HVA 真空閥門已廣泛應(yīng)用于 OLED 鍍膜機(jī)
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上海伯東 : 羅先生
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