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超低溫冷阱配套應(yīng)用于Parylene鍍膜設(shè)備

來源: 北京長流科學(xué)儀器有限公司    2022年02月23日 16:53  

在Parylene真空涂敷設(shè)備上,鍍膜腔體與真空泵之間,需要低溫捕集器。如下圖。

常見的低溫捕集器有以下3種方式:

1)液氮冷阱,是的低溫捕集方式,簡單可靠,易于維護(hù),費(fèi)用低。但是液氮的供應(yīng)受制約因素較多,另外在冷頭里灌注液氮,不太方便。

2)超低溫制冷機(jī)的冷頭,替換液氮冷阱,是最常見的低溫捕集方式。優(yōu)點(diǎn)是直接替代液氮方式,用戶容易理解和接受。缺點(diǎn)是冷頭與制冷機(jī)之間,有不可拆卸的低溫軟管,損失部分冷量,若是低溫狀態(tài)下移動(dòng)制冷機(jī),容易損壞軟管,造成制冷劑泄漏。與真空系統(tǒng)裝配,占用空間較多。

3)超低溫制冷機(jī)的冷阱,替換液氮冷阱,是更合理的低溫捕集方式。將液氮冷頭和真空罐一起去掉,從鍍膜腔體的真空接口,采用真空軟管,連接到超低溫冷阱的真空接口,然后連到真空泵。超低溫冷阱與超低溫冷頭相比,更加簡單可靠,安裝和維護(hù)更方便。

液氮冷頭作為低溫捕集器,捕集溫度低,維護(hù)簡單,但使用不便,常見于實(shí)驗(yàn)室里。

在工業(yè)領(lǐng)域,常見的是采用超低溫制冷機(jī)作為低溫捕集器,溫度范圍在-80℃~-145℃,一般分為冷頭和冷阱兩種方式。

超低溫冷頭的方式,優(yōu)點(diǎn)是直接替代液氮冷頭,也正好利用了原設(shè)計(jì)的液氮冷頭的附加真空罐。缺點(diǎn)是液氮冷頭或超低溫冷頭,法蘭接口都是非標(biāo),需要定制;超低溫冷頭的黑色連接軟管,保溫層相對(duì)不足,會(huì)損失一部分冷量,低溫時(shí)也比較脆弱、嚴(yán)禁移動(dòng)。

超低溫冷阱的方式,不需要附加的真空罐,整機(jī)機(jī)構(gòu)簡單。從鍍膜腔室,直接連接冷阱即可。不會(huì)有冷量的損失、堅(jiān)固耐用;接口采用真空標(biāo)準(zhǔn)形式KF40或KF50,非常方便可靠,也是真空系統(tǒng)的常規(guī)設(shè)計(jì)方案。

下圖左邊是冷頭的方式,黑色的低溫連接管,低溫時(shí)比較脆弱,有冷量損失。

下圖右邊是冷阱的方式,真空連接比較簡單可靠,鍍膜腔室à冷阱à真空泵。

下邊的大圖,是選用臺(tái)式冷阱的設(shè)計(jì)示意圖(已批量應(yīng)用)。

在超低溫領(lǐng)域,長流儀器(Coolium instruments)是一家研發(fā)型企業(yè),為客戶提供種類繁多的低溫產(chǎn)品。比如溫度為-50℃、-80℃、-110℃、-120℃、-135℃、-145℃的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型。同時(shí)也接受各種用戶需求的非標(biāo)定制。

長流儀器VaporCold超低溫冷阱配套Parylene設(shè)備,已有超過15年的時(shí)間,配套的超低溫冷阱超過500臺(tái),用戶分布在國內(nèi)、東南亞、歐洲、北美等市場(chǎng)。

長流儀器服務(wù)于Parylene設(shè)備,有豐富的經(jīng)驗(yàn)和自信,可為用戶提供多種解決方案。下圖是長流儀器的部分機(jī)型圖片,包括超低溫冷頭、超低溫冷阱。

* 單壓縮機(jī)自復(fù)疊制冷技術(shù),降溫快、溫度低、節(jié)能環(huán)保、性能可靠。

* 機(jī)型種類齊全,立式或臺(tái)式、冷頭或冷阱,便于用戶選擇配套。

* 冷頭或冷阱按真空標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試,滿足真空技術(shù)要求。

 * 在冷頭或冷阱的低溫表面,部分機(jī)型可選防腐蝕涂層,大大延遲使用壽命。

下邊是一些國內(nèi)外的應(yīng)用實(shí)例,冷阱形式各異,供大家對(duì)比和參考:


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