半導(dǎo)體行業(yè)專用氮?dú)獍l(fā)生器(腔體保護(hù)氣，干泵吹掃氣)NITROGEN-M-100/200采用膜分離技術(shù)，無須二次凈化，即可連續(xù)獲得潔凈、干燥、無鄰苯二甲酸酯的氮?dú)?，氮?dú)饧兌群土髁糠€(wěn)定，使用壽命長。

半導(dǎo)體行業(yè)專用氮?dú)獍l(fā)生器(腔體保護(hù)氣，干泵吹掃氣)

NITROGEN-M-100/200

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PECULIAR(UK)INSTRUMENT     TECHNOLOGY     LIMITED 英國普拉勒科技有限公司LC/MS 氮氣發(fā)生器，產(chǎn)生純度高達(dá)99.5%的潔凈、干燥氮?dú)猓习雽?dǎo)體行業(yè)腔體保護(hù)氣，干泵吹掃氣

要求，包含APCI及ESI接口。氮?dú)獍l(fā)生器采用膜分離技術(shù)，無須二次凈化，即可連續(xù)獲得潔凈、干

燥、無鄰苯二甲酸酯的氮?dú)猓獨(dú)饧兌群土髁糠€(wěn)定，使用壽命長。外置渦旋壓縮機(jī)提高了空氣供應(yīng)

的安全性，流速范圍從0-100L/min, 可同時(shí)為一臺(tái)或多臺(tái)儀器供應(yīng)氮?dú)?。特殊機(jī)型可以定制，最

大流速范圍可以達(dá)到200 L/min。

主要技術(shù)參數(shù) |

MAIN          TECHNICAL          PARAMETERS

◎流量：0-100/200L/min  @100psi(7bar)

◎工作環(huán)境：5C-40℃   濕度80%

◎使用海拔：2200m

◎露點(diǎn)：<-55℃

◎顆粒：<0.01μm

◎滯留液體：無

◎鄰苯二甲酸：無

◎噪聲：<47dB(A)

◎開機(jī)純化時(shí)間：30min

◎功率：8000W

◎電力要求：220V 50Hz