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場發(fā)射掃描電鏡SU5000

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場發(fā)射掃描電鏡SU5000



場發(fā)射掃描電鏡SU5000產(chǎn)品特點(diǎn):

1、二次電子分辨率:2.0nm at 1kv

2、高效PD-BSD,的低加速電壓性能,低至100V成像

3、大束流(>200nA)便于高效微區(qū)分析

4、具有優(yōu)異的低真空(10-300Pa)成像性能,配備高靈敏度低真空探測器(UVD)

5、開倉式快速簡單換樣(樣品尺寸:ф200mm*80mmH)

6、微區(qū)分析:EDS,WDS,EBSD等

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