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掃描電子顯微鏡 SU3500

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Hitachi的掃描電子顯微鏡 SU3500高畫質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。通過高畫質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立先進(jìn)科技“*”。

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掃描電子顯微鏡 SU3500

SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實(shí)現(xiàn)了“3 kV加速電壓7 nm分辨率”的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”*1、以及更高檢測(cè)效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測(cè)器”*1它為觀察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。

*1:


掃描電子顯微鏡 SU3500特點(diǎn)

  • 低加速電壓觀察時(shí)分辨率更高,可更好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
  • 全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
  • 和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比*2自動(dòng)功能縮短*3了大約11秒
  • 具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測(cè)器)”*4
  • 具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”*4

*2:

和日立SEM S-3400N相比

*3:

根據(jù)觀察條件的不同,時(shí)間會(huì)有變動(dòng)

*4:

自選

 





規(guī)格

項(xiàng)目描述
二次電子分辨率3.0 nm(加速電壓=30 kV,WD=5 mm高真空模式)
7.0 nm(加速電壓=3 kV,WD=5 mm高真空模式)
背散射電子分辨率4.0 nm(加速電壓=30 kV,WD=5 mm低真空模式)
10.0 nm(加速電壓=5 kV,WD=5 mm高真空模式)
放大倍率5 - 300,000倍(底片倍率*5)
7 - 800,000倍(顯示器顯示倍率*6)
加速電壓0.3~30kV
可變壓力范圍6~650Pa
大樣品尺寸直徑 200 mm
樣品臺(tái)X0~100mm
Y0~50mm
Z5~65mm
R360°
T-20~90°
可觀察區(qū)域直徑 130 mm(旋轉(zhuǎn)并用)
大樣品高度80mm(WD=10mm)
馬達(dá)臺(tái)5軸標(biāo)配
電子光學(xué)系統(tǒng)電子槍預(yù)對(duì)中的鎢燈絲
物鏡光闌4孔可動(dòng)光闌
探檢測(cè)器埃弗哈特 索恩利 二次電子探測(cè)器
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
EDX分析 WD10 mm(取出角35°)
圖像顯示操作系統(tǒng)Windows®7(有更改,恕不另行通知)
圖像顯示模式全屏模式(1,280 × 960 像素)
小屏模式(800 × 600 像素)
雙圖像顯示(800 × 600 像素)
四屏幕顯示(640 × 480像素)
信號(hào)混合模式
排氣系統(tǒng)操作全自動(dòng)排氣
渦輪分子泵261升/秒 × 1
機(jī)械泵135 L/min.(162 L/min.,60Hz) × 1

*5:

以127 mm × 95 mm(圖像尺寸4" × 5")的顯示尺寸規(guī)定倍率

*6:

以345 mm × 259 mm(像素1,280 × 960)的顯示尺寸規(guī)定倍率





觀察例


試料:樹脂填料(玻璃纖維)
加速電壓:1 kV
放大率:×1,000

 


試料:二氧化鈦顆粒
加速電壓:3 kV
放大倍率:×15,000 樣品未作導(dǎo)電性處理
樣品提供:由東北大學(xué) 垣花 眞人 様

 

似空科學(xué)儀器(上海)有限公司

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